更新时间:2024-09-12
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北京志鸿恒拓科技有限公司
曹
507533684
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美艾博格Aalborg质量流量计
美Aalborg是公司成立于1972年,是世界上较有名的气体质量流量计/控制器的生产厂家,其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、 材料科学 、石油化工、医药、环保等域。产品特点:性价比高、响应速度快、可靠性高,易于集成、环路保护、备总量计数器典型应用:CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺 。设计特点:-刚性属结构 -流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm -大压力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦气 -NIST系统标定可追踪的证明 -可倾斜的LCD读表 -0-5Vdc或4-20m*美艾博格Aalborg质量流量计
A信号输出 -电路保护 -可用作便携式的设备 -0到100%比例显示 -可
配备流量计算机 精度:±1.5%满量程,包括59℉到77℉的气体温度(1
5℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的压力。可选±1%满量程(
标定精度),在给定的温度与压力值条件下。 重复性:±0.5%满量
程 回应时间:实际流速±2%超过满量程25-100%一般2秒 温度系数:
0.15%满量程/℃ 压力系数:0.01%满量程/psi(0.07bar) 气体
/周围温度:32℉-122℉(5℃-50℃) 输出信号:0-5Vdc,小
1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻 传感器输出:+12Vdc;
大200Ω。