VAT真空阀 21048-QE24-ABA2技术参数

遵守适用法规，并采取必要的预防措施
使用的工艺介质。
考虑材料（→6）和工艺之间可能发生的反应
媒体。
•遵守适用法规，并对所有人采取必要的预防措施
您将要做的工作，并考虑本文档中的安全说明。
•开始工作前，请检查是否有任何真空部件被污染。遵守相关规定并采取必要的预防措施
处理受污染的零件时。
将安全说明传达给所有其他用户。
如果压缩空气进入压缩空气连接<4>，活塞将相互靠近，阀板将在“0°"位置打开。如果压缩空气进入压缩空气连接<2>，压缩空气连接<4>被排出，活塞将彼此远离，阀板将在90°位置关闭。在此位置，阀板的枢转角度可以用调节螺钉A或B调节±5°，并在阀门未受压时用相应的防松螺母固定。阀板的平行度可能会因操作、长期储存、污染等而发生变化。阀板在平行度≤5mm时是紧密的。

VAT真空阀的设计适用于所有真空度，直至高真空、超高真空和 超高真空条件。

VAT真空阀是在洁净室条件下生产的，并为其各自的应用量身定做。除了高纯度外，VAT真空阀由于其高度精确的功能和耐用性，即使在 的运行条件下也表现佳。64.8 超高真空控制闸阀系列设计用于在超高真空工艺中为各种应用（如半导体生产中的溅射或 EUV）提供可靠、精准的控制和隔离。该系列满足耐用性、模块性、密封性和可维护性的标准要求，并且特别注重长正常运行时间和低购置成本。
64.8 系列采用 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。设备上压力控制器可计算所需的阀板位置以达到设定点压力。步进电机执行驱动。编码器监控阀板位置。这样可确保快速准确地控制过程压力。位于关闭位置的专用 VATLOCK 锁定机制能够确保在断电的情况下，将密封隔离与故障保护关闭相结合。
超高真空性能通过金属阀盖密封、波纹管密封馈通件和硫化阀板密封件（O 型圈为选件）实现。
64.8 高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其 的可靠性。凭借自身坚固的无润滑剂设计，64.8 超高真空控制闸阀系列满足高循环真空控制闸阀的所有要求