Xiton Photonics 深紫外窄线宽纳秒脉冲固体激光器技术参数

·  德国Xiton Photonics专注于窄线宽固体脉冲激光器及其频率变换，其深紫外激光器尤为特色。

·  基于1064nm/1342nm的全固态DPSS调Q激光器可通过频率变换提供193nm、213nm、224nm、266nm等深紫外激光输出及355nm、447nm、532nm、671nm等常规波长输出。

·  多数Xiton激光器具备TEM00模式输出，保证 的聚焦性能，适合直写等应用；单纵模或窄线宽性能是Xiton激光器的另一特征，长长度确保可用于传统上采用气体激光器的计量、全息、光刻等应用。

·  相比传统深紫外波段的气体激光器，固态激光器体积小、寿命更长，维护成本更低。

一、IXION 193 深紫外激光器IXION 193 SLM
IXION 193 SLM是一种单频全固态激光系统，适用于光学计量、193 nm步进光学元件的校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。光谱带宽接近其理论傅里叶极限。

该系统的中心波长可在185至194nm的范围内定制，并可在订购时配置为固定波长。

作为附加选项，可以将绝对光谱精度为0.001nm的高精度光谱仪集成到系统中。这使得激光光谱调谐的控制具有最高的精度。