美国Dataray BeamMap2 Collimate 多平面狭缝扫描光束分析仪技术参数

DataRay 的 BeamMap2 代表了一种 不同的实时波束轮廓分析方法。它扩展了 Beam'R2 的测量功能，允许在光束行程的多个位置进行测量。这种实时扫描狭缝系统在旋转圆盘上的多个 Z 平面上使用 XY 狭缝对，同时测量四个不同 Z 位置的四个光束轮廓。BeamMap2 的设计在实时测量焦点位置、M²、光束发散度和指向方面有利。

与标准 BeamMap2 相比，BeamMap2 Collimate 经过专门设计，平面间距显著增加 5 mm，适用于准直良好的光束。

特点

多种检测器选项，范围为 190 至 2500 nm

190 至 1150 nm，硅探测器

650 至 1800 nm，InGaAs 探测器

1800 至 2300/2500 nm，InGaAs（扩展）探测器

符合 ISO 标准的光束直径测量

端口供电的 USB 2.0

自动增益功能

用于符合 ISO 11146 标准的 M² 测量的可选载物台附件

True2D™ 狭缝

分辨率达 0.1 μm

5 Hz 更新速率（可调 2 至 10 Hz）

剖面 CW/准连续波光束

光束直径 5 μm 至 4 mm

XYZ 轮廓，加上 θ-Φ

对焦位置和直径

实时 M²、指向和发散测量

以 ±1 μm 的重复精度识别焦点（取决于光束）

应用实例

非常小的激光束轮廓

光学组件和仪器对准

OEM 集成

镜头焦距测试

实时诊断对焦和对准误差

将多个装配体实时设置为同一焦点

M² 测量，提供 M2DU 载物台

True2D™ 狭缝

蓝宝石衬底上的 0.4 μm 厚金属多层薄膜

与气缝相比，具有多种优势

避免隧道效应

气缝通常比宽深，并且在高辐照度下会弯曲