SDI 1531 低噪声加速度传感器技术参数

1531型是一款表面安装MEMS直流加速度计，专为高温应用而设计。其性能规格与SDI 1521型几乎相同，但进一步加入了更高温度的材料。每个1531型微机电系统直流加速度计都是氮阻尼的、密封的、在气候室环境中仔细测试的，并经过严格的温度调节协议，以确保其在高达+175°C的温度下持续可靠运行。

每个微型密封封装结合了用于直流测量的MEMS电容式感测元件和包括感测放大器和差分输出的定制集成电路。这种设计确保了该装置对温度变化和梯度保持相对不敏感。每个包装都经过SDI的单独测试、编程和校准，并在其顶部和底部表面标有序列号，以便于追溯。此外，每个单元都有一份可选的校准测试报告（1531-TST），显示加速度计的测量偏差、比例因子、线性度、工作电流和频率响应规格。