VAT 板阀 02109-CA24-AOZ1技术参数

在所有条件下出色的压力控制和隔离

61.6高压控制蝶阀具有 的压力控制和隔离性能。凭借其快速精确的动作控制器（0.45秒），它是CVD工艺中精细控制和隔离的 解决方案。该板起到节流元件的作用，并改变阀门开口的传导率。61.6的集成压力控制器计算所需的板位置，以尽可能快地达到设定压力。



61.6系列隔离功能是专门设计的，以避免蝶阀 的较高密封磨损。由于它偏离了中心板轴，阀体和密封座的特殊几何形状，密封摩擦最小化，密封性能提高。



61.6系列已经在各种工艺条件下安装在数千个苛刻的应用中，证明了其 可靠性。采用坚固的设计和直接安装选项

可靠的高速保护

现代切断阀的主要要求是其在任何回流事件中都能可靠、快速地进行紧急隔离。25.7设计用于提供灵敏、高速的隔离功能，可靠地防止回流到工艺室或管道系统中的风险。



25.7 HV快速切断阀采用流量控制。无任何子系统（传感器和执行器）的直接操作设计提供了低复杂性和低故障风险的高速隔离。从最初的回流脉冲到 隔离不到10毫秒，25.7 于同类产品。



作为一种安 方案，理想情况下，截止阀应不为系统增加电导屏障。25.7的特殊流量优化设计在这方面树立了标准，在高电导和快速隔离之间实现了 平衡。



当用于气流中含有副产品的工艺时，例如前级管线应用，快速冲洗上的任何污染物积聚