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MKS传感器 技术参数

更新时间:2021-08-02   点击次数:1218次

MKS传感器,通用型绝对Baratron,电容式压力计

  
  722B 1-25,000 Torr,通用型绝对Baratron,电容式压力计是一款紧凑,低成本的压力计,可实现精确,可重复和可靠的测量。坚固的传感器结构允许高过压公差,减少线路压力峰值引起的误差。722B灵活,节省空间的设计使其成为改造应用和新设备设计的理想解决方案。
  
  占地面积小,可减小系统尺
  
  过压限制可确保零重复性或性能不会降低
  
  全金属全焊接结构,仅暴露Inconel,和不锈钢,具有高耐腐蚀性
  
  几个早期Baratron,压力计的“Drop-in"替代品
  
  Baratron,电容压力计技术
  
  电容式压力计是可以测量压力和真空的电子机械压力表。电容计将薄膜中的压力调制运动转换为与压力成比例的电信号。压力传感器是薄膜,其暴露于通过入口管测量的压力或真空。电极安装在隔膜后面的参考腔中。过程和参考腔之间的压力差使膜片稍微偏转,改变了它与电极之间的距离。该距离的变化产生隔膜和电极之间的电容变化,产生与压力变化成比例的电信号。

MKS流量计,多气体,多范围质量流量控制器

 
多气体,多范围,弹性体密封,50 - 50,000 sccm质量流量控制器
 
G系列GE50A数字控制质量流量控制器可提供RS485,Profibus,EtherCAT或DeviceNetI / O. 数字控制电子设备利用新的MKS控制算法,在整个设备控制范围内对设定点进行快速,可重复的响应。典型的响应时间约为500毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。
 
流速从5到50,000 sccm
Viton,Buna,氯丁橡胶或Kalrez的密封和阀塞选项
建立时间小于750毫秒
标准封闭电导泄漏率小于满量程的0.1%


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